技术编号:9321375
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。碳化硅半导体是一种化合物半导体,也是继第一代元素半导体材料(硅)和第二代化合物半导体材料(砷化镓,磷化镓,磷化铟等)之后发展起来的第三代宽带隙半导体材料的代表,非常适合用于高温、大功率电子器件领域,然而目前碳化硅晶片的高昂价格和大量晶体缺陷是制约碳化硅产业大规模发展的决定性原因。碳化硅晶体的异晶型有200余种,不同晶型之间的转化能量只有3电子伏特左右,能量相差很小,目前普遍采用的物理气相传输法,这种方法至今已被证实是能够生长碳化硅单晶晶体最有效的标准方法。...
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