技术编号:9321379
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 多晶硅是熔融的单质硅在过冷条件下凝固时,硅原子以金刚石晶格形态排列成许 多晶核,如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒,则这些晶粒结合起来,就结晶成多晶硅。多 晶硅由于各个晶粒的晶向不一样,不能像单晶硅一样采用碱腐蚀;为了得到良好的多晶硅 绒面,目前有多种方法,比如反应离子刻蚀法、机械刻槽法和化学腐蚀法。其中化学腐蚀法, 由于操作方便、重复性强,在工业化生产中得到了大规模的应用。其原理如下主要采用酸 制绒工艺,体系主要包括硝酸和氢氟酸,具体反应方程式如下 3S...
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