技术编号：9324991
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 在薄膜沉积中，残余应力的存在不仅影响着薄膜的性质，而且还在MEMS结构中对 结构产生明显的影响。薄膜中的残余应力在力的外部效应来看分为应力和拉应力，当压应 力过大的时候，就会是薄膜发生屈曲，这样是薄膜的附着力减弱，使薄膜与衬底脱离；当拉 应力过大的时候，会使薄膜产生褶皱，甚至出现破裂，这为下一步制作MEMS结构产生重要 的影响。而当采用表面微机械和体微加工技术将MEMS结构释放的时候，由于薄膜中残余应 力的存在，就会引起结构的失稳，弯曲甚至断裂；残余应力...
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