技术编号：9326147
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。干法刻蚀是用等离子气体进行薄膜刻蚀的技术，是晶圆片表面物理和化学两种过程平衡的结果。声表面波器件利用干法刻蚀工艺，在金属薄膜表面刻蚀出需要的金属栅阵线条图形。声表面波滤波器(SAWF)广泛的应用在射频移动通信中，随着四代移动通信时代的来临，移动基站使用的SAWF的频率也提升到了 2595MHZ。高频化是移动通信发展的趋势要求，然而高频率带来的是工艺难度的极大增加，2595MHZ频率对应的金属线条到了 0.3微米左右，已经非常接近深亚微米。传统的干法刻蚀工艺...
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