技术编号：9328607
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。离子束刻蚀技术是一种在真空条件下利用离子束对样品进行微细加工的技术，主要包括硬件和软件两部分，硬件部分是离子束刻蚀装置的设计和制造，软件部分是指对已有设备的刻蚀情况进行研究，得到更好的刻蚀结果。现有离子束刻蚀系统的载物台均为单层载物台设计，具单层载物台的离子束刻蚀系统单机生产能力不足，批量作业时刻蚀系统开停机频繁、刻蚀系统时间稼动率低下，生产工时长，由此造成离子束刻蚀系统利用率及产能低下，提高了生产成本。发明内容本发明的目的是根据上述现有技术的不足，提供了...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。