技术编号:9328672
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 在流体供应容器的使用中,可以在装置或操作中利用供应的流体,在该装置或操 作中,操作的连续性对于该装置或操作的经济特征是至关重要的。 作为一个实例,可向半导体制造设施的离子植入工具供应掺杂剂流体。在工具操 作期间,掺杂剂流体供应的任何突然的意外耗竭都会迫使植入工具停止运转,且接着需要 在制造过程中丢弃或再制晶圆,以及由于安装新的流体供应容器来替代流体耗尽的容器而 造成操作延迟。 这样的流体供应的突然意外耗竭以及伴随的操作打乱对加工系统造成严重的经 济损失。...
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