技术编号:9328754
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 TFT-LCD (Thin Film Transistor Liquid Crystal Display,薄膜晶体管液晶显不 器)具有机身薄、省电、无辐射等众多优点,已经得到了广泛的应用。TFT-IXD包括阵列基 板,阵列基板上设置有用于薄膜晶体管。以非晶硅薄膜晶体管为例,非晶硅薄膜晶体管一 般包括栅极、栅极绝缘层、I-a-Si (本征非晶硅)、n+a-Si (掺杂非晶硅)、源漏极、绝缘保护 层。该结构会由栅极和/或源漏极形成沟道段差,会造成中间各膜层在...
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