技术编号:9328756
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。现有技术的柔性基板的TFT (Thin Film Transistor,薄膜场效应晶体管)中,各导电结构之间的绝缘层一般只采用有机材料制作,或只采用无机材料制作。在只采用有机材料制作绝缘层的结构中,由于所采用的有机物一般为聚合物,而聚合物的介电常数相对较低,单独使用作TFT器件的绝缘层,会使得制备出的薄膜晶体管的阈值电压相对较高,并且漏电流较大,影响薄膜晶体管的电学性能。在只采用无机材料制作绝缘层的结构中,虽然无机材料的介电常数相对较高,但是在形成绝缘层时...
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