基于砷化镓基低漏电流双悬臂梁开关的或非门的制作方法技术资料下载

技术编号:9330161

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或非门是数字逻辑电路中的基本元件,实现逻辑或非功能,是构成各种复杂组合 逻辑和时序逻辑的基础。常见集成电路中的或非门通过Si基COMS工艺实现,然而,随着对 集成电路的速度和功耗的要求越来也高,GaAs基HEMT作为电路器件显示出一定的优越性。 同硅材料相比,GaAs材料具备载流子迀移率高、衬底半绝缘以及禁带较宽等特征,因此用它 制成的器件具有频率高、速度快、抗辐射能力强等优点。GaAs基HEMT以二维电子气为导电 通道,电子迀移率相比普通GaAs器件更...
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