技术编号:9331765
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及线锯(尤其是多线锯),和用于监测线锯(该线锯用于切割例如在半导体和光电行业中所使用的硬、脆材料(如多晶硅和单晶硅))中线网状况的方法,以及用于监测线网状况的传感器。更具体地,本发明涉及用于切割工件的线锯,该线锯包括用于形成线网的(至少两个)线导辊,该线网包括来自用于切割工件的至少一根切割线的相邻线段;进给台,用于安装工件并且朝向线网移动工件;控制器,用于控制线导辊和进给台的移动;以及线网监测系统,用于监测线网的线段,该线网监测系统包括具有用于测量...
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