技术编号:9332263
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 以提高切削工具的耐磨耗性以及提高机械部件的滑动接触面的滑动接触特性为 目的,通过物理蒸镀(PVD)法,对成为切削工具以及机械部件的基材(成膜对象物)进行成 膜,具体而言,进行TiN、TiAIN、CrN等皮膜的形成。作为使用于此种成膜的装置,已知有电 弧离子镀(AIP)装置以及溅射装置等PVD处理装置。 作为此种PVD处理装置,已知有一种组合多个PVD方法来形成复合皮膜的装置。例 如已知有用电弧离子镀方法在基材(工件)的表面形成硬质皮膜,然后用溅射装置在硬...
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