技术编号：9332486
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。1.发明领域本发明总体涉及质量流量控制器(mass flow controller ；MFC)的操作。2.相关技术许多工业过程需要对各种工艺流体进行精确控制。例如，在半导体工业中，质量流量控制器被用于精确地测量和控制被引入到工艺腔室中的工艺流体的量。术语流体在本文中用于描述能够流动的处于任何状态的任何类型的物质。例如，应当理解的是，所述术语流体可应用于包括其受控流动可受关注的物质的任何组合的液体、气体、蒸汽，以及料浆。MFC消费者往往监测作为品质和性能度量...
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