技术编号：9332868
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明总体上涉及MEMS器件，并且更具体地涉及一种MEMS传声器。背景大多数可商购的MEMS传声器或硅传声器由两个芯片组成专用集成电路(ASIC)芯片和附接到衬底的MEMS芯片。通常通过导电封盖或盖子封闭这些芯片。可以从传声器的顶面上的开口或从衬底上的开口提供声输入。典型地，在声输入来自顶部的商业应用中，声背空腔主要由MEMS芯片和衬底下面的体积形成。相比之下，声输入来自底部的商业应用中，声空腔通常由衬底和封盖封闭的体积形成。令人期望的是向MEMS传声器提...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。