技术编号:9339013
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。锗单晶片主要用于三结太阳能电池的衬底材料,与单晶硅电池相比,锗衬底电池具有更高的光电转化效率和更低的发电成本,且具有更好的耐高温性能和更好的空间抗辐射能力,寿命约为硅太阳能电池的两倍,因此锗衬底在空间卫星太阳能电池的制备方面有良好的应用。研磨是一种传统的半导体材料的加工工艺,单晶切割之后,必须通过研磨的方式以期去除部分损伤层、降低表面粗糙度、实现锗衬底的初步平坦化,在锗片的研磨减薄中通常采用双面研磨或表面磨削的加工方式。双面研磨是利用研磨砂浆的机械磨削作用...
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