技术编号:9341396
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 目前国内石英坩埚生产还停留在22寸-24寸生产,大尺寸28寸-32寸石英坩埚 还依赖进口,国内生产大尺寸石英坩埚的工艺还不成熟,在生产过程中遇到各种各样的问 题,包含熔制时石英坩埚外形不达标、石英坩埚内表面玻璃化程度低导致拉晶变形等,主要 原因还是制造大尺寸石英坩埚时熔制的关键因素温度不能达到合理要求,大尺寸石英坩埚 与小尺寸石英坩埚的明显区别在于坩埚的外径大、壁厚厚,正常工艺熔制时,由于电极与模 具内壁的距离Dl比熔制小尺寸时的大(如图3和图4所示),...
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