硅单晶拉制方法技术资料下载

技术编号:9344934

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在光伏行业中,光伏电池是基于半导体材料制作发电系统的基本单元,而硅单晶 是光伏电池非常重要的一种基础材料。 目前,制作硅单晶的最主要的方法有直拉(CZ)法和区熔(FZ)法,其中直拉法更加 适于大规模生产。直拉法是将一根具有固定晶向和直径的单晶硅棒作为籽晶,将籽晶降到 硅熔体表面上生长大直径的单晶硅棒。 直拉硅单晶是在直拉单晶炉中进行的,其中主要有高纯石墨热场系统、石英坩埚、 晶体旋转提拉装置及坩埚旋转升降装置,石英坩埚装有原生多晶硅料,还有少量的掺杂剂 ...
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