技术编号:9348631
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 湿度传感器在军事、气象、农业、工业控制、医疗器械等许多领域有着广泛的应用。 在过去的几十年里,有许多针对电容式、电阻式、压阻式、光学式等类型湿度传感器的研究。 在商用领域中,电容式湿度传感器应用最为广泛,这是因为电容式湿度传感器灵敏度高、制 造成本低、动态响应时间短、热损耗极小等特点。但是常规的电容式湿度传感器通常是刚性 的,不适于在人体等场合使用。 现有的电容式湿度传感器的结构基本采用上下电极板、中间绝缘介质层结构,且 中间绝缘介质层是湿度敏感元件。这...
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