技术编号:9351478
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。随着半导体工业的发展,缩小器件的尺寸成为了半导体工业继续推进的重点与难点,因此,进一步缩小器件尺寸的纳电子学就受到了科学界的广泛重视;碳材料作为纳电子器件的主流材料,其频率范围、电和散热等性能优异。目前,石墨烯、氧化石墨烯、碳纳米管是常见的碳材料;非晶碳薄膜是一种用于纳电子器件制备的新型碳材料,因其具有较好的物理、化学性能而备受关注;然而在实际生产中,非晶碳薄膜的制备存在工艺复杂、工艺参数不易控制,且制备过程中需要使用昂贵的仪器设备,生产成本高等问题。发明...
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