技术编号：9353956
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 CMUT装置在医学应用中变得日益流行。例如，CMUT装置已经用来改进医学超声成 像探针。CMUT装置还用来提供用于药学疗法中的高强度聚焦超声。此外，CMUT装置能够用 来生成用于多种应用（包括手势感测和气流监测）的空中超声。通常直接在硅衬底上（即 在硅晶片上）生成常规CMUT装置。例如，常常使用微机电系统（MEMS)制造技术制造常规 CMUT装置，在该技术中，脱模层被蚀刻出来，留下独立（柔性）膜。通常使膜的顶部金属化 以降低顶部（电极）板的电阻，并且膜随...
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