技术编号:9360516
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。在彩色滤光片(Color Filter,简称CF)的制作工艺中,烘烤设备(即OVEN设备)用于对经曝光、显影后的产品进行烘烤,即藉于加热方式将残存在彩色光阻膜内的溶剂(solvent)强制挥发出,以达成形成彩色滤光片的目的。现有技术中由于采取对彩色滤光片进行直接加热方式去除彩色光阻膜内的溶剂,所以烘烤设备内部会升华形成大量的溶剂升华物,这些溶剂升华物经由排气管路排出。在这些溶剂升华物经由排气管路排出的过程中,由于温度降低会使溶剂升华物凝结,造成排气管路内溶...
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