技术编号:9360925
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种,其由于使基板的涂膜厚度均匀化,特别是即使至少在基板的涂敷末端使喷嘴朝向上方移动的情况下,也能够使由追随于喷嘴的固化机构实施的涂液的固化处理均质化,并且能够提高处理控制的通用性。背景技术一直以来,已知一种通过从喷嘴喷出的涂液来对载置于工作台(平台)上的基板进行涂敷的基板的涂敷装置、即所谓的工作台涂料机,所述喷嘴被行走于喷嘴用行走轨道上的喷嘴用支承柱支承为升降自如。在这种基板的涂敷装置中,作为具备用于使被涂敷在基板上的涂液固化的固化机构的涂敷装...
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