一种超薄Ge单晶衬底材料及其制备方法技术资料下载

技术编号:9362039

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锗单晶衬底材料作为一种基础材料用途广泛。例如,以锗晶片为基板的三结太阳 能电池因其性能好,光电转换率高,已被全球各国运用到空间供电系统中;同时,随着科技 的发展,三结太阳能电池制造成本的降低,地面光伏市场对太阳能电池用锗晶片的需求也 将有较大的潜力。锗单晶衬底材料作为三结太阳能电池制造的上游产业,在降低制造成本, 减薄晶片厚度,提高晶片质量等方面的改革已是刻不容缓。 晶片的强度与其厚度成正比,当晶片减薄到一定程度其强度也会相应的降低,易 损易碎,给薄片生...
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