技术编号：9364082
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。目前，在液晶显示器领域，基板在溅射设备上的传输基本依靠基板承载装置的立式传输，其中，如图1所示，基板承载装置包括侧向托板100、下承托座200和上夹持座300 ;下承托座200和上夹持座300分别设于侧向托板100 —面的下部和上部，侧向托板100、下承托座200和上夹持座300共同构成一个放置基板400的承载空间；上夹持座300设有多个定位卡夹500，侧向托板100沿承载空间的左右两侧设有多个定位卡夹500，用于从上端、左端和右端定位基板。使用上述现有技...
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