技术编号：9364184
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。在石英片上镀上金属导电膜层，用作金属导电膜层的材料主要是金、银、铝和铜，用铝作导电层的晶振片具有最好的抗应力效果，但是铝这种材质过于柔软，易刮伤和氧化，而且对比金、银和铜，铝的阻抗大，其导电率和热导率都较低。采用铜铝合金既提高了晶振片的抗应力效果，又克服了铝晶振片中阻抗较大，电导率和热导率都较低的不足， 传统的铜铝合金镀膜工艺是把铜和铝按一定比例放在钼舟或坩祸中加热在真空环境中蒸镀在石英片上，具体过程如下蒸镀时，将石英片置于真空室的夹具上面，按重量配比将...
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