技术编号:9364186
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。蒸镀工艺是指在真空环境中,将待成膜的物质置于真空中进行蒸发或升华,并使之镀到基板上的过程,也称为真空蒸镀或真空镀膜。—般情况下,在进行蒸镀有机材料的时候,需要在有机材料与基板之间使用高精度金属掩膜板进行阻隔,从而蒸镀形成图案化的膜层。以显示中蒸镀膜层为例,高精度金属掩膜板主要用于保证蒸镀位置的精确,确定蒸镀形成的图案的精细程度,以及确定蒸镀形成的像素个数。可见,蒸镀过程中使用的高精度金属掩膜板的具体参数决定了生产出来的产品的良率。但是,为了得到高分辨率的基...
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