技术编号:9364207
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 氧化铝(Al2O3)涂层具有高熔点、高硬度、耐热以及化学性能好等优点,在硬质 合金刀具领域具有广泛的应用前景。氧化铝涂层较为成熟的制备方法为化学气相沉积法 (CVD),该技术要求沉积过程温度高于1000°C,导致生产过程能耗很大,此外制备过程气体 的毒性也较大,对防护的要求很高。物理气相沉积(PVD)技术优点多,能够显著降低制备温 度,已经引起了国内学者的广泛重视,但是PVD沉积氧化铝涂层时,获得的涂层呈现出无定 形结构,为非晶态。与非晶态氧化铝涂层相比...
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