技术编号:9364215
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。在通过蒸镀或者溅镀等方式使成膜材料沉积于基板而形成薄膜的成膜装置中,为了控制(管理)膜厚以及成膜速度(Rate速率)而使用膜厚计(膜厚监视器),其中广泛使用的是使用了石英振子法的石英振荡式膜厚监视器。该石英振荡式膜厚监视器将作为测定部的石英振子设于成膜室内,利用了当在该石英振子上附着有成膜材料时共振振动根据其质量的变化而变化的现象,例如通过测定该共振振动(振荡频率)的变化来计测膜厚或者成膜速度(Rate速率),例如在作为成膜装置使用真空蒸镀装置的情况下,以...
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