技术编号：9364467
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及透射电子显微镜的芯片，特别是涉及一种用于透射电子显微镜的样品杆的MEMS芯片。背景技术随着球差校正器的出现，电子显微学进入了亚埃时代，0.7埃甚至更高的空间分辨率使得透射电镜拥有足够的能力去分辨绝大多数原子，可在原子尺度上完成对材料结构和电子结构的综合表征。然而要研究材料结构与性能的关联并找到其背后的物理规律进而指导新材料的设计，仅研究材料的静态结构是远远不够的，我们需要知道材料在外场刺激(力、热、光、电和磁等)下的动态响应是怎样的。而材料结构与...
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