技术编号:9368395
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。现有技术中的蓝宝石晶体生长炉,如图1所示,一般采用鸟笼式的加热器。但是目前这些加热器都存在一个问题制造困难价格昂贵,加热棒直径大于5_,加热器底部热场不均匀。另外由于结构只有单方向开口,在加热生长的晶体重量大的情况下,不易取出,容易碰撞损坏加热器,加热器与制备蓝宝石的坩祸间需要更大的移动空间。同时,业内也有采用石墨做加热棒的蓝宝石炉加热器,然而受限于石墨本身物理性质,韧性不足,无法缩小直径,往往加热棒直径太大,导致诸如热转化率不高浪费能源、无法精确控制热场...
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