阻抗匹配器的测试系统及方法技术资料下载

技术编号:9373493

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本发明涉及测试,特别是涉及一种。背景技术一般的阻抗匹配器测试系统由五部分组成,包括射频电源,监测仪器,待测试阻抗匹配器,阻抗模拟器和工控机(工业控制计算机)。上述阻抗匹配器测试系统中,监测仪器可以给出入射功率、反射功率、反射系数、输入阻抗等参数,并将数据在工控机上界面显示;阻抗模拟器可实现一定范围的阻抗模拟和功率负载;工控机将对监测仪器和阻抗匹配器的相关参数显示并记录。其中,阻抗模拟器和射频电源为手动控制装置,每次改变射频电源的输出信号和阻抗模拟器的阻抗值...
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