技术编号：9373997
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。光学显微镜、扫描电子显微镜是失效分析及检测领域常用的实验设备。受成像原理所限，显微镜很难同时检测到不同高度的多件样品。尤其是在样品观察面高度差别很大的情况下，在高倍观察下方样品时，显微镜镜头容易与上方样品发生磕碰甚至损坏。为避免这种情况的发生，必须要对样品按照高度进行分类，相近高度的样品编为一组，高度差别较大的样品组只能分批观察。常规扫描电子显微镜的样品室需要在真空条件下运行，在更换样品组时需要重复破真空、抽真空的过程，由于该过程时间相对较长，大大降低了检...
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