技术编号：9374303
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。光罩检查机，英文名Mask Cleaner，该设备可以夹持光罩，用强光灯检查光罩上的微粒(Particle)，同时，用气枪进行清洁，防止微粒存在造成光罩损伤(Mask Defect)。因放置光罩检查机的房间面积有限，大多放置光罩存储柜，所以光罩检查机占地面积越小，放置光罩检查机的房间利用率越高；同时，光罩正面和背面都需要进行微粒清洁，则要求设备能力清洁范围越大越好；此外，生产条件对光罩清洁度及品质要求非常高，不可出现任何擦痕和损伤，否则该光罩将无法使用，会...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。