技术编号:9374527
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 本发明是一种实验用控制台,特别是涉及一种采用了压电陶瓷执行器的实验用控 制台。背景技术 国外在超精密平台的设计研究起步的比较早。这促进了国外发达国家对精密平 台及其相关科学的研究美国国家关键技术委员会将纳米技术列为政府重点支持的22项关 键技术之一,美国国家基金会亦将纳米技术列为优先支持的关键技术之一,美国许多著名 大学都设有纳米技术研究机构,如北卡罗莱纳大学的精密工程中心,康乃尔大学的国家纳 米加工实验室,路易斯安那大学的微米制造中心等等。日本把纳米技...
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