技术编号:9377686
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。离子束抛光技术是目前最先进、精度最高的加工技术,由于离子束抛光具有柔性加工、去除稳定性、精度高等特点,是加工亚纳米级精度光刻物镜的理想手段。因此,离子源在先进光学制造领域具有非常广阔的应用前景。随着现代工业的发展,特别是随着大规模集成电路的发展,离子源广泛应用于集成电路制作的离子刻蚀设备、沉积金属层和金属引线以及介质膜的镀膜机、亚微米超大规模集成电路制作工艺中离子束曝光机、制作超大规模集成电路的光刻机镜头的亚纳米级精度离子束抛光机、高质量光学离子束辅助和溅...
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