技术编号：9377694
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。在现有的显示器件中，某些膜层的表面粗糙度会影响显示器件的性能。例如，在现有的利用多晶娃层作为有源层的薄膜晶体管(Thin Film Transistor, TFT)中，由于多晶娃层中晶粒交汇的边界处(即晶界处)存在凸起，会导致多晶硅层的表面粗糙度较大，即有源层的表面粗糙度较大，这样，会导致TFT的漏电流较大；并且，为了平化有源层的表面粗糙度，需要形成较厚的栅绝缘层，然而，较厚的栅绝缘层又会降低TFT的反应速度、驱动电流和存储电容，还会使阈值电压的漂移现象变...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。