技术编号：9377911
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。半导体加工设备一般包括反应腔室和机械手，其中，反应腔室用于对晶片进行工艺处理，机械手用于在工艺过程中向反应腔室内传输晶片。图1为现有的机械手的结构示意图。如图1所示，机械手包括本体1、升降机构(图中未示出)和伸缩机构(图中未示出)；其中，本体I用于承载晶片2 ;升降机构用于驱动本体I在竖直方向作升降运动；伸缩机构用于驱动本体I在水平方向作伸缩运动。在工艺过程中，本体I承载着晶片2，在升降机构和伸缩机构的驱动下，从反应腔室外部运动至反应腔室内部，并将晶片2放...
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