技术编号：9379387
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。精密直线运动机构是精密加工装备、精密测量设备中的关键运动部件，其运动和定位精度对精密加工和测量装备的性能指标起着决定性作用。此类系统对精密直线运动机构的主要要求是在启动和停止阶段能达到很高的加速度(一般约等于数个重力加速度)以减少启停时间，在匀速运动段能在相对较长的行程(一般约数百毫米)内、在相对较高的速度(一般约数百甚至数千毫米每秒)下实现亚微米甚至纳米精度的定位或跟踪精度。传统的直线运动机构多采用旋转电机加传动机构的形式实现直线运动，传动机构惯量大、存...
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