技术编号:9382630
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。专利说明具有优化使用特性的溅射靶本发明涉及一种具有金属氧化物溅射材料的溅射靶,其中所述溅射材料包含锆和钛作为金属。该类型溅射靶已为人所公知(例如参见W02011/110584A1)。可将所述溅射靶用于例如生产玻璃上的涂层。在该文献中使用由二氧化钛和二氧化锆的混合物形成的溅射靶。由这种组合物形成的溅射靶具有如下所列等多种缺点它可包含大量堆积的非导电性二氧化锆,使得在溅射过程中易于形成非期望的火花(所谓的电弧),并对溅射工艺产生不利影响和损害了所形成的涂层的质...
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