技术编号:9382636
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。以往,对于被收容在减压状态或真空状态的腔室内的工件,使用PVD法或CVD法进行成膜、氮化、含浸等表面处理。在此种使用PVD法或CVD法进行成膜等的改性处理(modificat1n process)的处理装置中,工件的处理温度根据机械特性或粘合性等而被细致设定的情况为多。例如,为了使成膜的皮膜与基层的粘合性优良,一般来讲处理温度较高为理想。但是,在考虑机械特性等的情况下,有时将工件的温度设定得低更为有利。鉴于此种情况,在上述的PVD法或CVD法的处理中,工件...
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