技术编号：9382657
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 近年来，人们积极研究使用13族元素的氮化物如氮化镓等，制造蓝色LED、白色 LED、蓝紫色半导体激光器等的半导体装置，并将该半导体装置应用在各种电子仪器上。过 去主要通过气相法制造氮化镓系半导体装置。具体来说，使氮化镓薄膜在蓝宝石基板或碳 化硅基板之上通过有机金属气相生长法（MOVPE)等进行异质外延生长从而制造。这种情况 中，由于基板和氮化镓薄膜的热膨胀系数或晶格常数大大不同，因此氮化镓上会产生高密 度的错位（结晶上的一种晶格缺陷）。因此，通过气相法难...
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