技术编号:9382898
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。由于由MEMS装置表现出的灵敏度、空间分辨率和时间分辨率以及低的功率要求,微机电系统(MEMS)已经被证明为各个应用中的有效的解决方案。因此,基于MEMS的传感器一一例如加速计、陀螺仪、声学传感器、光学传感器和压力传感器已经被研发用于广泛的各种应用中。MEMS压力传感器通常封装在陶瓷或者预成型的封装中。陶瓷和预成型封装运行良好以容纳MEMS压力传感器。然而,对于一些传感器应用,这些类型的封装只不过太大。例如,封装可能限定超过可用于安装压力传感器的区域的衬底...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。