技术编号：9383189
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。为了观察物体的微小的区域，使用扫描式电子显微镜(SEM)、透射式电子显微镜(TEM)等。一般而言，对在这些装置中用于配置试料的箱体进行真空排气，使试料环境为真空状态而对试料进行拍摄。然而，生物化学试料、液体试料等因真空而受到损伤，或者状态变化。另一方面，想利用电子显微镜观察这样的试料的需求变多，近几年，开发了能够在大气压下对观察对象试料进行观察的SEM装置、试料保持装置等。这些装置中，在原理上在电子光学系统与试料之间设置电子束能够透射的隔膜而分隔真空状态和...
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