技术编号：9392308
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 ZnO透明薄膜具有优异的光电性能，且低廉成本，无毒，应用十分广泛。比如半导体 性质的氧化锌薄膜被用于在发光二极管和激光器等领域，而透明导电薄膜因为其近金属的 导电率，可见光范围内的高透射率等广泛地应用于太阳能电池、显示器和巡航导弹的窗口 等。 为了制备理想的ZnO基透明导电薄膜，人们研究了多种制备方法。常用的有溅射 法，M0VCD (金属有机物化学汽相外延），CVD (化学气相沉积）和热蒸发等。脉冲激光沉积 法制备薄膜是近十年来迅速发展起来的一种全新的制...
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