技术编号：9395139
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。为了提高压力传感器的可靠性，多冗余度测量方法被提出。目前，多冗余度测量同一压力的方法主要有两种一是采用多个独立的压力敏感芯体分别测量，各压力敏感芯体独立安装，同一管座内分出多条压力通道给各个压力敏感芯体。但这种方式结构复杂、加工困难、成本高并且体积大，不符合当前传感器小型化的趋势。二是在同一个芯体的同一个密封腔体内粘贴多个压力敏感芯片，统一充油并密封，多个压力敏感芯片处于共同的硅油环境中。但这种方式并没有将各个芯体完全隔离，各个芯体之间可能会相互影响；同时...
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