一种电容检测电路及电容传感电路的制作方法技术资料下载

技术编号:9395712

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本发明属于微电子,设及一种检测电路,尤其设及一种电容检测电路;同 时,本发明还设及一种电容传感电路。背景技术 阳00引传统的电容检测前端电路中,一般如图1所示,使用宽带放大器和电容C組成反 馈放大环路W获得很短的响应时间W及高增益,W保证整个检测电路对于环境变化不敏 感。在此种检测电路中,通过分别控制开关SW郝SW2,把从MEMS电容传递过来的电荷转换 为电压信号,并使得输出信号的幅度V。正比于从MEMS中检测到的位移。但是,由于采样操 作的存在,宽带的...
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