技术编号:9396985
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 驱动电压是静电驱动微机电系统(Micro Electro Mechanical System, MEMS)产 品性能改进、新产品研发的一个重要技术参数,决定着MEMS产品的性能、可靠性及应用范 围。大量研究表明,驱动电压每降低5V,MEMS产品使用寿命可增加10倍。低驱动电压不仅 可以明显增强MEMS产品的性能,延长其使用寿命,而且可以扩大MEMS产品的应用范围,是 静电驱动MEMS产品研发的一个重要方向。 阶梯型微悬臂梁是降低MEMS产品驱动电压的一种...
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