一种采用均热板及微通道对多热源器件散热的均温装置的制造方法技术资料下载

技术编号:9398186

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现代微电子芯片技术飞速发展,多芯片组件(MCM)是在混合集成电路基础上发展起来的一种微电子封装技术,具有更多的功能、更高的性能和更小的体积。陶瓷多芯片组件(MCM-C)作为厚膜HIC发展的高级阶段和一种实用的多芯片组件,具有互连层数多、集成密度大、电学性能优、制造成本低等显著优点得到了越来越广泛的应用。通过将低温共烧陶瓷(LTCC)基板与封装外壳腔壁、PGA外引线进行一体化封装的方法,有效地实现LTCC型MCM-C的高性能封装。随着芯片尺寸的不断缩小和集成...
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