技术编号:9400389
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 本发明涉及用于切断陶瓷或单结晶晶锭(ingot)的线锯,更具体的,本发明涉及 在行进的锯丝上摆动晶锭,切断成多个薄晶片的线锯。背景技术 通常作为将6&48、6&?、11^、〇皿竹2、3 &??111代、其它陶瓷或单结晶晶锭切断成多个 薄晶片的设备,广泛地使用每单位时间内生产收率高的线锯。线锯是基本上以直径IIM以 下,较好是200ym左右的钢琴钢丝或不锈钢钢丝的锯丝作为媒介通过与像金刚石一样的 研磨剂的相互作用来切断晶锭的设备。在...
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