技术编号：9400573
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。托盘(tray)用来在制造设施中运送(transport)许多的装置和材料。例如，托盘用来运送脱氧核糖核酸(DNA)样品，半导体晶圆裸片(wafer die)，药品等。托盘可在建筑物内或穿过建筑物被运送。有时托盘被放置在托盘堆支架中以保护托盘防止在运送期间掉落。多个这样的托盘堆支架用来运送所述托盘。并且，托盘在托盘堆支架之间传送。例如，一托盘堆支架可被指定发送到实体A且另一个托盘堆支架可被指定发送到实体B。包括具有由实体A提供的技术规格的晶圆裸片的托盘要在...
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