技术编号:9400903
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 本发明涉及液体组合物,更详细而言,涉及包含铜和钼的多层膜的蚀刻中使用的 液体组合物、和使用其的多层膜布线的制造方法、以及所制造的基板。背景技术 -直以来,作为平板显示器等显示设备的布线材料,一般使用铝或者铝合金。然 而,伴随着显示器的大型化及高分辨率化,这样的铝系布线材料因布线电阻等特性而产生 信号延迟的问题、均匀的画面显示变得困难。 与铝相比,铜具有电阻低的优点,另一方面,在栅极布线(gate wiring)中使用铜 的情况下,存在玻璃等基板与铜的密合...
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